OPTM 系列是日本大冢電子 (OTSUKA) 旗艦級顯微分光膜厚儀（也常稱顯微薄膜厚度計），主打微區(qū)、納米級精度、高層數(shù)、高速測量，是半導(dǎo)體、*顯示、光學(xué)鍍膜研發(fā)與質(zhì)控的高端設(shè)備大塚電子(蘇州)有限公司。

一、核心型號與參數(shù)（2026 *）

二、關(guān)鍵技術(shù)特性

• 微區(qū)測量：光斑 Φ3～40 μm 可選，測微小點 / 線 / 陣列
• 高精度：重復(fù)性 ±0.1 nm 級，精度媲美橢偏儀
• 多層解析：*多 50 層薄膜結(jié)構(gòu)，同時測 n, k 光學(xué)常數(shù)大塚電子(蘇州)有限公司
• 透明基板：反射物鏡，消除玻璃 / 石英背面反射干擾大塚電子(蘇州)有限公司
• 高速 Mapping：自動 XY 平臺，支持面內(nèi)均勻性分布成像
• 軟件友好：初學(xué)者模式，一鍵擬合，無需復(fù)雜建模大塚電子(蘇州)有限公司

三、規(guī)格（A1 標(biāo)準(zhǔn)型）

• 測量時間：≤1 秒 / 點大塚電子(蘇州)有限公司
• 樣品臺：自動 XY (200×200 mm)，Z 軸自動對焦
• 尺寸 / 重量：556×566×618 mm / 66 kg
• 電源：AC 100–240 V, 500 VA

四、價格參考（2026 年，深圳）

• OPTM-A1 (標(biāo)準(zhǔn))：￥380,000～450,000
• OPTM-A2 (擴展)：￥420,000～480,000
• OPTM-A3 (NIR)：￥480,000～550,000
• 貨期：日本原裝，10–14 周

五、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：Gate 氧化膜、High-k 膜、光刻膠、鈍化膜、SiC 外延
• *顯示：Micro-OLED、量子點膜、觸控導(dǎo)電膜、偏光片
• 光學(xué) / 光通訊：AR/VR 鍍膜、濾光片、波導(dǎo)、DLC、增透膜
• *材料：柔性基板、PI 膜、抗指紋涂層、功能性薄膜

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